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olympus奥林巴斯工业显微镜MX61A半导体显微镜

产品编号：MX61A 全自动半导体检查显微镜
市场价：￥0.00元
会员价：￥0.00元
品牌：中文
生产厂家：olympus奥林巴斯

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    始终提供最佳观察影像的光学系统

     

    强大的缺陷检查能力

    采用了新颖的光学系统（UIS2），特别增强了明视场、暗视场的性能，从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温最佳化，实现了容易误检的中性颜色的再现，暗视场图像的亮度约提高了四倍（与本公司原有产品比较）。

    自动调节最佳亮度

    亮度光圈调节示意图 物镜选择和观察方法切换连动，自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。
     

    对应各种设备的实时AF

    深紫外线观察用物镜 MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能优越的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用，大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中，实现了追踪观察位置的实时对焦。
     

    对应多种观察方法

    物镜UIS2系列产品 在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品，与各种观察单元组合，可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。
    观察方法的切换非常简单，只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。
    观察影像实例
     

    提供扩展性的解决方案

     

    提供扩展性的解决方案

    适应分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模块 "显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜，还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来，必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换，只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性，满足了不断变化的分析需求。
     

    显微镜控制软件　MX2-BSW

    显微镜控制软件显示画面 显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF，还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2，能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方，快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。

    *1对应本公司推荐的电动载物台
    *2对应奥林巴斯DP21或本公司推荐的IEEE1394数码照相机
     

    实现对人和环境都没有危害的自动化

     

    符合SEMI　S2/S8标准

    符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有关安全的基准），S8-0705（有关人体工程学的基准）和CE标识（欧洲强制性认证）等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等，高水准的确保了可靠性。

     

    可选的倾斜观察筒

    倾斜观察筒示意图 备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号，或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。
     

    洁净对应的电动物镜转换器

    洁净对应的电动物镜转换器 备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
    6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器，采用了新型马达，实现了高速安静的倍率转换。
     

    高抗振本体

    高倍率观察图像示意图 采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察，也不会出现影像模糊的情况。
     

    可以触摸屏操作的手控开关

    手控开关操作部 配备了触摸屏操作的手控开关，可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法，就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。
     

    帮助实现多种观察的附件

     

    晶圆搬送机组合

    晶圆搬送机 可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用，实现了对90 μm极薄晶圆的搬送，能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。
     

    自动载物台组合

    自动载物台 备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制，可以实现高级检查、不良分析功能。
    • 全自动半导体检查显微镜 MX61A　规格
    光学系统 UIS2光学系统（无限远校正）
    机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
    反射/透射 反射
    照明装置 机身一体型（明视场、暗视场＋1选件）
    照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
    透射照明 –
    对焦单元 电动/手动 电动
    行程 25.4 mm
    分辨率/微调灵敏度 分辨率0.01 μm
    最大样本高度 24 mm
    物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
    明暗视场微分干涉5孔
    明暗视场微分干涉6孔
    明暗视场微分干涉中心补正5孔
    手动式 –
    载物台 行程 14×12英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm
    8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm
    观察筒 广角视场（视场数22） 倒置 –
    正像 –
    超宽视场（视场数26.5） 倒置 –
    正像 倾斜三目观察筒
    附件单元 自动调焦/DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
    外形尺寸 711（W）×853（D）×552（H）mm（标准组合）
    重量 56 kg（标准组合）