SU70日立新型分析型热场发射扫描电镜

    为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。

特点：
1. 100nA的大探针电流
   新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流
2. 通用的分析型样品室
   预留了多种接口，可以安装以下附件进行
   分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低
   温台，样品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
   观察磁性样品及EBSP、WDS分析
4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立
   已被检验的半内透镜技术。
5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合
6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察